교과목개요
마이크로에서 나노크기의 feature size를 갖는 초소형기전시스템(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)의 설계, 이론 및 이의 제작을 위한 각종 마이크로머시닝기술에 대하여 강의한다. 반도체 제작에 사용되는 각종 공정의 기본적인 이해와 MEMS 구조물 제작에 필요한 새로운 제작기술들에 대하여 소개하고 MEMS 기술로 만들어진 각종 마이크로 센서 및 액추에이터, 그리고 그 응용에 대하여 강의한다.
교수목표
- 마이크로기술에 대한 기본적인 이해
- 마이크로 머시닝 제작방법에 관한 기초지식 및 적용방법의 이해
- 초소형 기전시스템(MEMS)의 요소, 공정 및 시스템 설계능력 함양
주요 학습내용 및 수업진행방법
순수강의 형태로 강의 노트를 위주로 하여 진행하며, 참고문헌 및 관련 논문등의 자료를 활용하여 수업을 진행한다. 학기 중 설계 프로젝트를 진행하고 그 결과에 대한 발표회를 갖는다.
학습 성과 평가방법
성적은 출석(10%), 중간 및 기말고사(각 30%), 설계프로젝트(30%)를 합산하여 종합적으로 평가한다. 이 외에 강의중의 수시질문으로 추가점을 준다. A학점: 30%이하, A+B학점: 70%이하.
교재 및 참고문헌
교재: 강의노트
참고서:
(1) Marc Madou, “Fundamentals of Microfabrication”, CRC Press, 1997
(2) Gregory T.A. Kovacs, “Micromachined Transducers: Source Book”, McGraw-Hill, 1998
(3) R.C. Jaeger, “Introduction to Microelectronic Fabrication”, Addison-Wesley Publishing Company, 1988
(4) 황호정, “반도체 공정기술”, 생능출판사, 1999
(5) “반도체 (공정 및 측정)”, 전자자료, 1994
(6) 김용권역, “마이크로 머신의 세계”, 대영사, 1995