[G01361] 박막공학
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[G01361] 박막공학
개설 | 20111학기
대상 | 공과대학 첨단소재공학부 3학년 / 전공선택과목 [3학점]
교수 | 김선규
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1주차 증착기술개론
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2주차 진공펌프와 시스템
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3주차 수용액으로 부터의 착막
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4주차 수용액으로 부터의 착막
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5주차 코팅공정의 표면 준비
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6주차 코팅공정의 표면 준비
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7주차 증발공정
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8주차 증발공정, 중간고사
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9주차 증발공정
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10주차 박막의 미세구조
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11주차 스퍼터링공정
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12주차 이온플레이팅
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13주차 화학증착법
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14주차 화학증착법
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15주차 플라즈마화학증착법, 박막평가
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16주차 플라즈마화학증착법, 기말고사
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